等離子清洗機(jī)常見保養(yǎng)事宜

俗話說，工欲善其事，必先利其器，一個好的工具往往能讓工作事半功倍。又說：功夫再高也怕菜刀，所以機(jī)器再好也是需要保養(yǎng)的。下面就為大家分享一些常見的等離子清洗機(jī)保養(yǎng)事宜：

等離子清洗機(jī)保養(yǎng)事項：

1、定期檢查真空泵油

每月定期查看真空泵油位和油的純度，觀察油位視窗，油位接近最低紅線刻度時，則添加到油紅標(biāo)線上下之間位置；觀察油的顏色，正常的油為清潔透明，當(dāng)油出現(xiàn)渾濁（油顏色變灰褐色或者油位視窗模糊不清）、真空泵噪音異常，則及時更換真空油。

2、清洗反應(yīng)腔室

首先脫脂棉布沾無水乙醇（俗稱酒精）擦拭（不要用乙醇擦拭反應(yīng)腔體觀察玻璃）真空腔體。

其次腔體導(dǎo)入（氬氣+氧氣）或（氮氣+氧氣），用等離子體清除腔體內(nèi)殘余物。工作10分鐘，每月至少一次。

3、檢查輸氣管道的完整性及真空密封性

定期檢查真空系統(tǒng)的完整性，這種檢查應(yīng)該在徹底的清洗反應(yīng)室之后，以避免污染物遺漏在腔體中。

定期檢查反應(yīng)腔體門密封條是不是松動。

檢查各管路是否連接緊固，老化等問題。

4、檢查電源連接

電壓是否與設(shè)備匹配（設(shè)備的電壓為220V）。

我們無論在使用任何機(jī)器設(shè)備時都要其進(jìn)行保養(yǎng)，這樣不但會保持設(shè)備的工作穩(wěn)定性和精度，還會延長設(shè)備的壽命。當(dāng)然等離子清洗機(jī)的保養(yǎng)也不例外。