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等離子清洗機
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15L等離子晶圓去膠機

產品型號:TS-PL15MA

產品簡介: 晶圓表面清洗去膠

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產品參數:

型號 TS-PL15MA
腔體材質 316不銹鋼
腔體尺寸 L270mm*W280mm*H200mm
電極
平板氣浴電極,材質6061-T6鋁合金
功率電極
1
接地電極
1
電極尺寸
230mm *230mm(最大可處理產品尺寸,可處理8寸晶圓)
頻率
13.56MHz
 功率
0-300W連續可調,可在設備運行中隨時調整參數。
氣體控制
MFC質量流量計, 0-500ml   2路氣體
真空度測量儀器
 2色顯示式高精度數字式壓力開關(SMC)
控制方式
7寸工業控制觸摸屏,全手動控制和全自動控制兩種控制方式
控制軟件功能
界面顯示實時工作狀態
設備規格尺寸
長600mm 寬600mm 高700mm
電極板配置
配備3個卡槽位(接地電極),極板間距離可調整,可按需求調整極板位置


隨著技術水平的不斷更新迭代,以及各生產廠家對產品潔凈度要求的不斷提高,清洗工藝逐步由濕法向干法轉變。干法清洗通過氣體形成的等離子體在工件表面發生作用,不需要經化學試劑浸泡,也不用烘干,過程更加潔凈安全,清洗過程也方便控制,工作環境及人員安全明顯改善,在成本有效減少的同時,產品成品率及優品率也得到很大提高,目前已成為各半導體產品領域廣泛應用的技術。

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